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基于时栅测量系统的精密分度转台研制与开发

2006年 应用技术
  • 成果简介
项目的主要研究内容是，改变人们长期以来形成的传统思维：“高精度位移测量必须依赖高精度的测量基准标尺，并且这个测量基准标尺是基于超精密机械加工而得到的空间刻线分布”。而该项目提出的新思想是：“精密位移测量可以依赖另一个基准量—时间基准，从而摆脱对超精密加工的唯一依赖”。简言之，该项目就是研究“用时间测空间”的新方法、新技术，进而发明了一种新型智能传感器—时栅位移传感器，并将其成功应用于制造业...
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